真空蒸留

真空蒸馏。

蒸着

じょうちゃく

蒸，蒸镀，真空镀。

蒸着膜

蒸镀薄膜，淀积膜。

真空

しんくう

真空。

空蒸し

からむし そらむし

蒸（食物）

化学蒸着

かがくじょうちゃく

化学蒸气沉积。

蒸着速度

蒸镀速率，蒸镀率，沉积率。

真空ポンプ

しんくーポンプ しんくうポンプ しんくーポンプ しんくうポンプ

真空泵。

真空計

真空计。

真空度

真空度。

真空ボロメータ

真空辐射热测量器。

真空管

しんくうかん

电子管，真空管。

真空帯

しんくうたい

气袋

真空ブレーキ

真空闸，真空制动器。

真空スイッチ

真空开关。

真空室

真空室。

真空槽

しんくうそう

真空柱

中真空

中真空。

真空エゼクタ

真空喷射器。